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烘焙真空设备

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产品名称: 烘焙真空设备
产品型号: SFCV-1001
产品厂商: 岩濑商事
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烘焙真空设备  的详细介绍

PHIL佐藤真空/烘焙真空设备/油滤器/真空油浸装置/SFCV-1001

大学・研究机关でグラフェンなど炭化水素系化合物での各种材料开発に适した、管状炉式の高温热CVD装置です。少量・小サイズのテストピースが简単な操作で作れるように小型化し、同时に大幅なコストダウンを実现しました。
また、従来小型では困难とされてきた5～100Paでの圧力コントロール机能を备え、より多様な处理パターンに対応可能としました。さらこ炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警报検出による机器停止、大気放出ガス希釈ユニットなどの**装置を备えています。



PHIL佐藤真空/烘焙真空设备/油滤器/真空油浸装置/SFCV-1001

主仕様

炉芯管 透明石英管（加热温度100～1000℃）
アルミナ管（加热温度1000～1400℃）
反応ガス供给 2～60sccm（水素、メタン、エタン、工チレン、アセチレン、ベンゼン等）
圧力コントロール 5～100Pa
可燃性ガス大気放出対策 エジェクタにより可燃混合范囲以下にエアで希釈排気

机器构成

型式 SFCV-1001 SFCV-1003 SFCV-1501
管状炉 炉芯管 材质 透明石英管 アルミナ管
内径 φ24mm、φ50mm φ24mm
加热温度 常用 100～1000℃ 500～1400℃
Max 1150℃ 1500℃
加热域 1ゾーン 3ゾーン 1ゾーン
ヒータ容量 1.0kW 2.4kW 1.2kW
真空排気 油回転真空ポンプ 排気速度：100～150L/min
ガス供给 マスフローコントローラ 流量：10～100sccm
ガス管型フローメータ
ガス希釈 エアエジェクタ エア流量：15Nl/min
真空计 圧力制御 キャパシタンスマノメータ：0.133～1330Pa,100Pa～133kPa
大気复圧 デジタル连成计：-100kPa～+100kPa
制御 温度制御 プログラム制御
圧力制御 バルブON/OFF制御
操作パネル 各机器スイッチ、プログラム温调计、真空计
表示器：温度、真空度、作动机器ON/OFF、警报、电源
电源 単相 100V・30A 100V・50A 200V・20A
外形寸法 Ｗ×Ｄ×Ｈ 1450×500×1200mm
质量 125kg 134kg 128kg

系统図

系统図


PHIL佐藤真空/烘焙真空设备/油滤器/真空油浸装置/SFCV-1001
产品广泛地应用于钢铁、冶金、石油、风能、环保、汽车、化工、轮胎、造纸、印刷、电力、水力、港口及工业制造行业
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