PHIL佐藤真空/烘焙真空设备/油滤器/真空油浸装置/HSV-12-80
本シリーズは研究開発用、及び小ロット生産用の抵抗加熱式小型蒸着装置です。また、本シリーズの一部機種には電子ビーム(EB)の搭載も可能です。
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