真空油浸装置

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产品名称: 真空油浸装置
产品型号: HSV-12-80
产品厂商: 岩濑商事
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真空油浸装置  的详细介绍

PHIL佐藤真空/烘焙真空设备/油滤器/真空油浸装置/HSV-12-80

本シリーズは研究開発用、及び小ロット生産用の抵抗加熱式小型蒸着装置です。また、本シリーズの一部機種には電子ビーム(EB)の搭載も可能です。

真空蒸着装置
真空蒸着装置
真空蒸着装置

PHIL佐藤真空/烘焙真空设备/油滤器/真空油浸装置/HSV-12-80
产品广泛地应用于钢铁、冶金、石油、风能、环保、汽车、化工、轮胎、造纸、印刷、电力、水力、港口及工业制造行业

主仕様


型  式 HSV-3-30G HSV-8-50 HSV-12-80
到達圧力 ×10-3Pa ×10-4Pa
基板加熱温度 - Max 300℃
蒸発源(電極) 2対 10V Max150A 2対 20V Max200A
バルブ操作 手動 自動 手動 自動 手動
真空槽 φ300×H300mm
透明ガラス
φ500×H500mm(水冷式)
SUS 304
φ800×H700mm(水冷式)/前扉式
SUS 304
回転機構 - 公転機構 自公転機構
内部機構 シャッター機構、抵抗加熱機構 シャッター機構,加熱ヒーター,抵抗加熱機構
主ポンプ 油拡散3inches 油拡散8inches 油拡散12inches又はクライオ
補助ポンプ 150L/min 500L/min 1500L/min
主バルブ 3inches 8inches 12inches

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