PHIL佐藤真空/烘焙真空设备/油滤器/真空油浸装置/HSV-8-50
本シリーズは研究開発用、及び小ロット生産用の抵抗加熱式小型蒸着装置です。また、本シリーズの一部機種には電子ビーム（ＥＢ）の搭載も可能です。
主仕様 型 式 HSV-3-30G HSV-8-50 HSV-12-80 到達圧力 ×10-3Pa ×10-4Pa 基板加熱温度 - Max 300℃ 蒸発源（電極） 2対 10V Max150A 2対 20V Max200A バルブ操作 手動 自動 手動 自動 手動 真空槽 φ300×H300mm 透明ガラス φ500×H500mm（水冷式） SUS 304 φ800×H700mm（水冷式）/前扉式 SUS 304 回転機構 - 公転機構 自公転機構 内部機構 シャッター機構、抵抗加熱機構 シャッター機構，加熱ヒーター,抵抗加熱機構 主ポンプ 油拡散3inches 油拡散8inches 油拡散12inches又はクライオ 補助ポンプ 150L/min 500L/min 1500L/min 主バルブ 3inches 8inches 12inches
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