真空热处理炉

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产品名称: 真空热处理炉
产品型号: VHF-Ⅰ-V
产品厂商: 岩濑商事
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真空热处理炉  的详细介绍

PHIL佐藤真空/真空热处理炉/排气装置/电气计测机器/VHF-Ⅰ-V

高温真空热处理炉<VHF>シリーズ


■当社は、お客様の用途に合った各种真空炉を、幅広い経験と技术により提供しています。

横型内热式VHF-Ⅰ-H
真空热处理炉
竖型内热式VHF-Ⅰ-V
真空热处理炉
横型外热式VHF-EH
真空热处理炉


PHIL佐藤真空/真空热处理炉/排气装置/电气计测机器/VHF-Ⅰ-V

真空炉の种类と构造


真空氛囲気下で加热する装置は温度领域によりヒータ材质、温度制御センサ、容器构造および材质が异なります。

タイプによる分类

  タイプⅠ 内热・カーボン タイプⅡ 内热・メタル等 タイプⅢ 外热
型式 VHF-Ⅰ(C) VHF-Ⅰ(M) VHF-E
加热温度域 超高温、高温(1)、高温(2)
700~2300℃
超高温、高温(1)
1000~2300℃
高温(1)、高温(2)
700~1600℃
ヒータ材 硬质カーボン メタルヒータ
(タングステン・モリブデン・炭化珪素)
メタルヒータ
(カンタル线・炭化珪素)
容器材质 ステンレス钢:SUS304
(水冷ジャケット付)
ステンレス钢:SUS304
(水冷ジャケット付)
炉芯管材:
アルミナ管(~1600℃)
石英ガラス管(~1200℃)
构造 真空热处理炉 真空热处理炉 真空热处理炉

ヒータ材は、カーボン系(タイプI)とメタル系(タイプII)があります。カーボン系は低コストですが、微粉末が発生するのでクリーン度が要求される场合はメタル系のヒータを用います。 又、高温域でも比较的温度が低い高温域(2)ではヒータ材により低コストのカンタル线や炭化けい素材を使う场合もあります(タイプIII)。

超高温、高温(1)の领域では加热域の温度が高いので**性の点から容器を2重构造の水冷ジャケット型(タイプI、II)にし、材质をステンレスにするケースが多くなります。

小型のものではタイプIII(管状炉)の形状も选択できます。 容器材质がアルミナ管や石英ガラス管で有效エリアが円筒形になります。



PHIL佐藤真空/真空热处理炉/排气装置/电气计测机器/VHF-Ⅰ-V

产品广泛地应用于钢铁、冶金、石油、风能、环保、汽车、化工、轮胎、造纸、印刷、电力、水力、港口及工业制造行业

温度领域と构成

分类 加热温度 制御センサ ヒータ材质(加热方式)
超高温 1400~2300℃ 放射温度计 カーボンヒータ、メタルヒータ(W、Mo)※1
高温(1) 1000~1500℃ 白金‒ロジューム热电対(S型、R型、B型) カーボンヒータ、メタルヒータ(Mo、SiC)※1
高温(2) 700~1100℃ クロメルーアルメル热电対(K型) カンタル线ヒータ

※1) Mo:モリブデンW:タングステンSiC:炭化けい素

超高温域では高温に加热された领域にセンサを差し込んで温度を测定する事はできないので放射温度计を用います。高温域では700℃~1100℃(高温(2))の范囲ならばK型热电対(アルメル-クロメル)で、1000℃~1500℃(高温(1))の范囲ではS,R,B型(白金-白金ロジューム合金)の热电対を加热域に差し込んで温度を测定します。

冷却


冷却方式には、自然冷却、ガス冷却、油冷却などの冷却方式があります。短时间で冷却したい场合冷却室を别に设けることも可能です。

真空炉の排気系


真空炉の目的や圧力领域に合わせて真空ポンプの构成を选択します。クリーン度を要求される场合はドライポンプやドライポンプ+ターボ分子ポンプor クライオポンプを选定します。

圧力领域(真空度)と真空ポンプ

圧力(Pa) 真空ポンプ
大気~3.0 油回転ポンプ
大気~10 ドライポンプ
1000~0.4 メカニカルブースタ+油回転ポンプ
3~1×10 ‒3 油拡散ポンプ+油回転ポンプ
200~2×10 ‒5 ターボ分子ポンプ+ドライポンプまたは、ターボ分子ポンプ+油回転ポンプ
40~10 ‒7 クライオポンプ+ドライポンプまたは、クライオポンプ+油回転ポンプ

※) 圧力(真空度)は容器内圧力で、真空ポンプ吸入口圧力より高くなるのは、配管の抵抗と容器内のガス発生による影响です。


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