PHIL佐藤真空/真空热处理炉/排气装置/电气计测机器/VHF-Ⅰ-V
■当社は、お客様の用途に合った各种真空炉を、幅広い経験と技术により提供しています。
真空氛囲気下で加热する装置は温度领域によりヒータ材质、温度制御センサ、容器构造および材质が异なります。
タイプによる分类
ヒータ材は、カーボン系(タイプI)とメタル系(タイプII)があります。カーボン系は低コストですが、微粉末が発生するのでクリーン度が要求される场合はメタル系のヒータを用います。 又、高温域でも比较的温度が低い高温域(2)ではヒータ材により低コストのカンタル线や炭化けい素材を使う场合もあります(タイプIII)。
超高温、高温(1)の领域では加热域の温度が高いので**性の点から容器を2重构造の水冷ジャケット型(タイプI、II)にし、材质をステンレスにするケースが多くなります。
小型のものではタイプIII(管状炉)の形状も选択できます。 容器材质がアルミナ管や石英ガラス管で有效エリアが円筒形になります。
产品广泛地应用于钢铁、冶金、石油、风能、环保、汽车、化工、轮胎、造纸、印刷、电力、水力、港口及工业制造行业
温度领域と构成
※1) Mo:モリブデンW:タングステンSiC:炭化けい素
超高温域では高温に加热された领域にセンサを差し込んで温度を测定する事はできないので放射温度计を用います。高温域では700℃~1100℃(高温(2))の范囲ならばK型热电対(アルメル-クロメル)で、1000℃~1500℃(高温(1))の范囲ではS,R,B型(白金-白金ロジューム合金)の热电対を加热域に差し込んで温度を测定します。
冷却方式には、自然冷却、ガス冷却、油冷却などの冷却方式があります。短时间で冷却したい场合冷却室を别に设けることも可能です。
真空炉の目的や圧力领域に合わせて真空ポンプの构成を选択します。クリーン度を要求される场合はドライポンプやドライポンプ+ターボ分子ポンプor クライオポンプを选定します。
圧力领域(真空度)と真空ポンプ
※) 圧力(真空度)は容器内圧力で、真空ポンプ吸入口圧力より高くなるのは、配管の抵抗と容器内のガス発生による影响です。
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