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高真空、高温用全自动真空烘烤设备 DH-DP型：油扩散泵排气系统，x10 –3 Pa DH-TP型：涡轮分子泵排气系统，x10 –4 Pa
全自动DH系列真空烘烤设备是为生产机械而设计和制造的。该设备除了满足生产线可靠性、**性、可操作性要求外，还可实现高达650℃的高温加工。除了不同的极限压力外，DH-DP 和 DH-TP 类型还具有不同的泵：油扩散泵或涡轮分子泵。选择*能满足您需求的类型，包括所需的清洁程度。
■DH-DP型 DH-DP型采用油封式旋转真空泵和油扩散泵，极限压力为x10 -3 Pa。是DH-TP型的替代品，能够以更低的成本提供高真空气氛。 。
■DH-TP型 DHTP型采用油封旋转真空泵或干泵以及涡轮分子泵，极限压力为x10 -4 Pa。在我们所有的真空烘烤系列类型中，它拥有*强的真空度以及*洁净的供暖环境。
■加热机构 通过内部加热系统实现真空室内的高温，该内部加热系统将安装在各架板下侧的护套微型加热器作为热源发挥作用。根据工件的类型，加热器也可以安装在腔室的内壁表面上。无论哪种系统，与外部加热系统相比，内部加热系统都减少了将腔室加热到指定温度所需的时间，并确保腔室内具有优异的温度分布。
■加热控制 箱内各加热器配备单独的温度控制器进行PID控制，确保温度控制准确、可靠。此外，可编程控制器可用于指定加热模式。
■操作性 DH 系列类型易于使用，任何人都可以操作。只需按下“开始”按钮即可打开系统并激活排序程序以实现真空排气、加热以及阀门打开和关闭等自动功能。设备系统配置和每个设备的开/关状态都显示在图形面板上，方便确认运行状态。提供各种互锁功能，以防止各个阶段的错误操作。
■** 如果在自动操作期间检测到设备故障，系统将根据故障类型（冷却水量或气压下降、过热等）停止所有操作或特定功能，并使用指示灯图形面板指示故障类型。该系统具有**的保障措施。 例如，在停电时，主阀关闭以维持真空加热室中的压力（以防止因大气泄漏而导致工件氧化），同时泵泄漏阀打开以防止泵油回流。
■可选的强制冷却功能可大大缩短加工时间 由于真空具有优良的绝缘体，因此散热可能需要很长时间。即使热处理后关闭加热器，温度也需要很长时间才能降至50℃左右才能取出工件。可选的强制冷却功能大大减少了温度下降所需的时间，从而显着减少了总处理时间。
DH系列广泛应用于生产线工艺，包括半导体元件和**/电子器件元件、电子材料、金属、陶瓷、激光器件元件和等离子体电极的真空烘烤。
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