PHIL佐藤真空/油回转式真空泵/干燥装置/注膜真空设备/SDP-3A*1
特征
这种真空泵用于需要高真空度时，可以以较低的成本提供10 -5 Pa。加热的扩散油从喷嘴注入，产生超音速射流，排空至高真空区域。不能独立运行，与油旋片真空泵配套使用，作为背泵。可以组合成排气装置的产品，请参考真空设备中的高真空排气设备。
规格表 模型 抽速 极限压力*2 油回流 油量 电源 电力 开始时间 所需水量 临界背压 大量的 （1.3×10 -3 Pa时） 升/秒 帕 毫克/厘米2分钟 毫升 电压/φ 瓦 分钟 升/分钟 帕 千克 有/无挡板 无挡板/带水冷挡板 SDP-2 125/58 ×10 -5 ×10 -2 / ×10 -4 50 100/1 0.33 15 0.5 20 4 SDP-2A *1 58 7.5× 10-4 4.7 SDP-3 280/150 ×10 -2 / ×10 -4 100 100/1 0.5 20 1.0 6 SDP-3A *1 150 7.5× 10-4 7.5 SDP-4 380/215 ×10 -2 / ×10 -4 150 100/1 0.7 20 1.5 8 SDP-4A *1 215 7.5× 10-4 10 SDP-6 810/465 ×10 -2 / ×10 -4 340 200/1 1.0 20 3.0 15 20 SDP-8 1450/790 ×10 -2 / ×10 -4 500 200/1 1.4 二十五 4.0 30 SDP-10 2070/1200 ×10 -2 / ×10 -4 820 200/1 1.9 二十五 5.0 41 SDP-14 3600/2350 ×10 -2 / ×10 -4 1600 200/3 4.5 30 7.0 120
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