PHIL佐藤真空/真空泵/真空计/油滤器/回转油缸/TP-2000ZB
日本SATO佐藤真空(PHIL) 真空备件真空泵停止吸气后,外部大气压高于真空腔体内气压,造成真空腔体内的减压状态,产生差压,但真空泵内的密封油被大气压压到真空腔体内,产生逆流,造成对腔体内物质的污染。为了防止油的逆流,在真空泵停止工作的同时吸气侧阀门关闭,使真空腔与外部大气压隔离。自动油逆流防止阀安装于真空泵的吸气口一侧,吸气停止同时,阀门关闭,免去了手动操作的麻烦,也可以减少手动操作的错误,也是不备时的停电对策。
真空泵购入后想追加自动防油逆流阀时用于真空泵的吸气口部分的适配管。吸气口径有φ16,φ23,φ30三种类型,请参见下表。
对有机溶剂等能腐蚀标准材质的聚丙烯等的气体做吸气真空处理时使用的,VITON材质与金属的合成部件。
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